주요 생산품목
CERAMIC
• Ceramic 소재의 특성
무기물질을 주원료로 사용하는 산화물(Oxide), 질화물(Nitride), 탄화물(Carbide)등의 재료을 뜻함.
일반적으로 금속재료, 유기재료에 비하여 내식성, 내열성, 내마모성이 매우 우수하며 다양한 기능 (전자기적, 기계적, 광화적 기능 등)을 갖고 있다.
- 내열성 & 실용 연속 사용온도 : 1300 -1700도
- 내약품성 & 불활성 상태이기 때문에 화학적 침식에 높은 저항성을 갖고 있음
산 알카리 등에 영향을 받지 않음 - 내마모성 & 치밀하고 경도가 높은 물질로써 일반적으로 금속재료보다 15-20배 높음
- 전기절연체 & 고온에서의 전기 절연성 및 고전압에 대한 절연 내력이 크며, 강유전성, 낮은 유전 손실율을 보유
QUARTZ
• QUARTZ 소재의 특성
- 빛의 투과성
- 내열성 : 1000°C 안전하게 사용
열팽창계수 : 5.4 * 10(-7)/°C
연화점 : 1550 - 1650 °C
서냉점 : 1000-1150 °C - 고순도 : 수십 ppm이하의 극소량만 포함(금속 불순물)
- 내 화학적 특성
(금속 불순이 거의 포함되어 있지 않아 화학 약품의 침투가 어려움. 특히 강알카리 및 강산에 의한 용해 속도가 낮다) - 대부분의 산, 금속, 염소, 취소 등은 상온에서는 쿼츠와 반응하지 않는다.
LCD
• CVD
- Insulator Plate, Cover Plate, etc.
- S45c Insulator, Sk11 Plate
• SPUTTER
- Base Plate, 베큠척 al606, al706 pin
- 무정전MC Lower Plate
Alumina, Machinable Ceramics
• 소재의 특성
- 알루미늄 AL606 코팅, 착색
- 지르코니아 (MZR, MZR-H, MZR-E)
- 질화 알루미나 (AIN:090, 170)
- 알루미늄 AL606 경질도금
- Si3N4
- SKD II, S45C. 몰리브덴
- BN (BN HC, BN N-1, SBN)
- SHAPAL M SOFT